ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດ

ເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າເທກໂນໂລຍີຟິມບາງ, ຖືກໃຊ້ໃນອຸດສາຫະ ກຳ ທີ່ຫລາກຫລາຍ, ເຊັ່ນ: ແຜ່ນບັນຈຸພັນສົດໃນອຸດສາຫະ ກຳ ອາຫານ, ຮູບເງົາປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ການເຄືອບຕົກແຕ່ງສໍາລັບອຸປະກອນໃນຫ້ອງນ້ໍາແລະເຄື່ອງປະດັບ. , ເພື່ອຊື່ຈໍານວນຫນ້ອຍຫນຶ່ງ.

ຕະຫຼາດອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກບົນພື້ນຖານຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ເຕັກໂນໂລຊີ, ແລະພາກພື້ນ.ໃນດ້ານເທກໂນໂລຍີ, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກຕື່ມອີກເຂົ້າໄປໃນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (ບໍ່ລວມເອົາ sputtering), ແລະ sputtering.

ສ່ວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບແມ່ນແບ່ງອອກເປັນ evaporation ແລະອື່ນໆ (ເລເຊີກໍາມະຈອນ, laser arc, ແລະອື່ນໆ).ພາກສ່ວນການລະເຫີຍຄາດວ່າຈະສະແດງໃຫ້ເຫັນການຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍກ່ຽວກັບໄລຍະເວລາການຄົ້ນຄວ້າເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເພີ່ມຂຶ້ນ.

ພາຍໃຕ້ sputtering, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນ sputtering reactive, sputtering magnetron (RF magnetron sputtering, ແລະອື່ນໆ (pulsed DC, HIPIMS, DC, ແລະອື່ນໆ)) ແລະອື່ນໆ (RF diodes, ion beams, ແລະອື່ນໆ).

ພາກສະຫນາມຂອງ sputtering magnetron ແມ່ນການຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຂັບເຄື່ອນໂດຍແນວໂນ້ມທີ່ເອື້ອອໍານວຍທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດແລະເອເລັກໂຕຣນິກ.

ໃນແງ່ຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ CVD, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ PVD, ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ sputtering.ພາຍໃຕ້ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ PVD, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກຕື່ມອີກເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນການແພດ, ໄມໂຄອີເລັກໂທຣນິກ, ເຄື່ອງມືຕັດ, ການເກັບຮັກສາ, ພະລັງງານແສງຕາເວັນ, ແລະອື່ນໆ.ພາກສ່ວນການເກັບຮັກສາຄາດວ່າຈະເປັນພະຍານເຖິງການເຕີບໂຕທີ່ມີລາຍໄດ້ໃນໄລຍະການວິເຄາະຍ້ອນຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບການເກັບຮັກສາແລະຄວາມນິຍົມຂອງ SSDs ທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ PVD ອື່ນໆປະກອບມີອົງປະກອບທາງອາກາດ, ອົງປະກອບຂອງຍານຍົນ, ການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະອື່ນໆ.

ພາຍໃຕ້ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ sputtering, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນຮູບເງົາແມ່ເຫຼັກ, sensors ອາຍແກັສ, metallization ຂອງວົງຈອນ microelectronic ແລະ chip carriers, ຮູບເງົາຕ້ານ corrosion, ຮູບເງົາຕ້ານທານ, ອຸປະກອນເກັບຮັກສາ optical, ແລະອື່ນໆ.

ພາຍໃຕ້ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ CVD, ຕະຫຼາດໄດ້ຖືກແບ່ງອອກເປັນໂພລີເມີ, ວົງຈອນປະສົມປະສານ (IC) ແລະອຸປະກອນ photovoltaic, ແລະໂຄງຮ່າງການອິນຊີໂລຫະ (ການເກັບຮັກສາອາຍແກັສ, ການດູດຊຶມ, ການເກັບຮັກສາແລະການຊໍາລະລ້າງ, ການຮັບຮູ້ອາຍແກັສແລະ dielectrics ຕ່ໍາ k, catalysis, ແລະອື່ນໆ), ແລະອື່ນໆ. .